激光微纳加工技术是近年来发展起来的一种高效、节能绿色制造技术。我校激光微纳加工技术及装备课题组长期致力于激光微纳加工技术及装备研究，通过与国内外高校和激光设备生产企业合作研究，开发出高精度激光微纳加工装备。

微型机械与电子技术相结合，使种类繁多的微机电系统(MEMS)问世，MEMS不仅在于尺寸和体积减少，其目标更在于通过微型化和集成化，探索新的原理和技术，形成批量化生产产业，完成大型机电系统所不能完成的任务。

因为尺寸太过微小，加工制造MEMS零部件，传统的车、铣、刨、磨等加工技术已无能为力。现有微细加工技术如化学刻蚀、电化学微加工等，由于平面几何映射特性的影响，只能用于加工平面的、结构比较简单的微器件。能制作三维微结构的LIGA技术，需要制作掩模，加工时间长、工艺过程复杂、价格昂贵。聚焦离子/电子束加工技术则需要在真空环境中进行，不仅设备成本高，而且应用范围受限。

    我校激光微纳加工技术及装备课题组新研发的加工装备已处于国内领先水平，既可用于MEMS零部件的加工，也可用于大型零件上的微孔、微槽、微棱柱等微细结构特征的加工，还可用于航空发动机微细冷却孔、汽车喷油器微细喷油孔等微孔的加工，微流控芯片流道、电路板电路槽道等微槽的加工，及板类零件、皮革、服装等的切割加工。项目研究获得发明专利5项，发表学术论文10余篇。项目研究成果在合作研究单位温州百岸汽车零部件有限公司、瑞安市博业激光应用技术有限公司、浙江嘉泰激光科技影线公司、中科中涵激光设备公司推广应用，取得了较好的经济效益和社会效益。