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基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法 | |
| 专利号： | 201510145090.8 | |
| 发明人： | 曹宇 | 魏鑫磊 | 李春林 | 薛伟 | 李峰平 | 王艳虎 | 张健 | |
| 专利权人： | 温州大学 |
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| 专利授权日： | 2015.07.01 | |
| 专利类型： | 发明专利 | |
| 简介
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| 本发明提供了一种基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法，包括：采用逆向工程方法测量建模待加工自由曲面工件外形，并基于重构曲面模型进行表面阵列微结构的设计图形布局；之后对设计图形进行激光刻蚀加工路径规划，根据加工路径所在的切平面、几何中心点以及对应外法矢量，调整激光加工头相对自由曲面工件的空间方位，使激光束沿法向方向射向自由曲面工件，逐条进行几何线条的激光刻蚀加工。本发明可以有效保证光束焦点在加工过程中始终位于自由曲面工件表面或有一定的离焦量，是一种全新的“准确聚焦”激光加工方法，完全消除了表面阵列微结构图形的布局与加工误差，确保了激光刻蚀加工工艺质量的精确性和稳定性。 |
上一条：一种自校准的双工位激光水平测高仪
