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微型压强传感器 | |
| 成果名称 | 微型压强传感器 | |
| 项目阶段: | 小批量生产 | |
| 技术领域： | 电子信息 | |
| 知识产权证书号： | 2014103834452 | |
| 知识产权情况： | 专利 | |
| 成果属权： | 全部 | |
| 成果介绍
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| 本微型压强传感器是一种基于碳纳米管气体吸附与场发射的革新性压力传感技术，通过测量微小场发射电流变化，测量系统压力，顶级期刊Nanoscale评价是“本领域的一项重要进展”。可以解决密闭真空电子器件的真空性能无法实时监控的难题，并可应用于狭小、功耗要求高、温度敏感的压强测量环境。 由于微型、使用简单、对真空电子器件主环境无干扰等优势，传感器可集成入真空电子器件内，在密闭工作条件下对器件的真空性能进行监控，有效保证了器件的高质量、可靠应用，使器件工作寿命可预期。 |
| 市场前景
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| 传感器具有毫米量级尺度，在真空电子器件、小型系统、真空夹层等多种空间受限的真空环境中，具有应用优势。本传感器在小电流、低压下工作，能耗低、对环境无热干扰，适用于航天、高能物理（低温加速器）等领域的压强监控。 |
| 项目负责人：董长昆 合作方式：许可使用 转让价格：协商 |
电话：15088925387 邮箱：dck@wzu.edu.cn 地址：温州市瓯海区茶山高教园区温州大学南校区1A202 |
