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一种变焦距激光精密加工深槽深孔装置 | |
| 专利号： | 201510300500.1 | |
| 发明人： | 曹宇 | 余婷婷 | 蔡丰勇 | 魏鑫磊 | 李峰平 | 余德格 | 冯爱新 | |
| 专利权人： | 温州大学 |
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| 专利授权日： | 2015.09.16 | |
| 专利类型： | 发明专利 | |
| 简介
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| 本发明提供了一种变焦距激光精密加工深槽深孔装置，包括工作台、激光器和聚焦光路系统，所述聚焦光路系统包括コ字形支撑架、导光机构、多片聚焦透镜、聚焦透镜座、聚焦透镜座旋转机构、旋转筒和固定套筒；所述工作台为一两轴运动平台，可带动工件做X-Y两个方向的平移运动；激光器发射的激光束入射到聚焦光路系统中，通过聚焦透镜座上的某个聚焦透镜中心轴线，沿Z方向垂直入射并聚焦在工件表面。本发明通过聚焦透镜座的旋转，使得脉冲激光束依次穿透不同焦距的聚焦镜片，焦距可以实现渐进变化，从而使得激光始终聚焦在激光刻蚀或打孔过程中露出来的新表面，能量更集中，打孔深度更大，效率更高。 |
