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一种基于单光束时空特性调节的激光加工头 | |
专利号: | 201510195608.9 | |
发明人: | 曹宇 | 李春林 | 魏鑫磊 | 何安 | 张健 | 朱德华 | 冯爱新 | |
专利权人: | 温州大学 |
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专利授权日: | 2016.11.30 | |
专利类型: | 发明专利 |
简介
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本发明提供了一种基于单光束时空特性调节的激光加工头,包括分束镜片、环形光路系统和中心光路系统;环形光路系统包括第一平面反射镜、锥透镜组和聚焦物镜,中心光路系统包括第二平面反射镜和第三平面反射镜;经分束镜片分束后的第一束激光束经第一平面反射镜的反射后,入射至锥透镜组,锥透镜组产生非衍射环形光束输出至聚焦物镜,聚焦物镜将非衍射环形光束聚焦后的细环形焦斑输出至工件的表面;经分束镜片分束后的第二束激光束经第二平面反射镜和第三平面反射镜的反射后,入射至聚焦物镜,聚焦物镜将激光束聚焦后输出中心细圆斑在工件的表面。采用本发明所述的激光加工头进行激光打孔时,能保证良好的圆环精度,减小热影响区,提升孔边质量。 |